NON-DESTRUCTIVE | HIGH-RESOLUTION | INTERNAL IMAGING

超声波影像扫描系统

通过高频超声波实现样品内部无损成像,适用于集成电路、先进封装、 新材料、功率器件等高精密检测场景。系统支持自动化控制接口,可与产线协同运行。

500MHz

探头最高频率

0.5μm

最高分辨率

1000mm/s

最高扫描速度

2000h

耐久性测试

核心优势

国产自主・性能卓越

核心部件全国产化,规避进口依赖风险,显著降低设备维护成本与周期。探头最高频率达 500MHz,分辨率达 0.5μm,扫描速度 1000mm/s,兼顾检测精度与效率。集成缺陷智能识别、自适应检测与实时成像技术,大幅提升检测流程自动化水平。

精准定量・专利保障

拥有超高频探头、先进成像算法、动态校准三大核心专利,构建核心技术壁垒。测量结果精准可靠,支持缺陷特征定量分析,满足高精检测场景的精准定量要求。

超高分辨・洞察入微

可精准检测亚微米级微缺陷(如空洞、裂纹、分层),提前规避产品失效风险。单台设备即可兼顾微观缺陷探测与深层结构分析,提供超过100层的断层扫描功能,无需多设备切换,简化检测流程。

持久稳定・可靠运行

整机通过 2000 小时耐久性测试,部件经过严苛地加速老化试验,搭配直线电机 + 大理石防震平台,确保设备性能持久稳定,长期可靠运行。

应用领域

覆盖半导体、电子器件可靠性筛查与材料行业三大类检测场景。

半导体行业

Semiconductor

溅射靶材、晶圆键合、先进封装、集成电路等缺陷检测。

电子器件可靠性筛查

Reliability Screening

军工级、车规级芯片与电子器件,包括:大功率器件 IGBT、红外器件、光电传感器件、SMT 贴片器件、MEMS等。

材料与制造行业

Materials

力学性能分析,表面、亚表面及内部成像:高纯金属、超导材料、高温粉末冶金材料、复合材料;液冷模块、航空结构件、散热模组;镀膜、电镀、注塑、金属焊接、摩擦界面等

软件界面与人机交互

 软件实时操作界面

应用案例

应用案例:FPGA 芯片、IGBT 器件、半导体封装
FPGA 芯片、IGBT 器件、半导体封装
应用案例:金属材料与焊接质量
金属材料与焊接质量
应用案例:晶圆键合
晶圆键合

标准化检测流程

系统提供从样品定位、参数配置、实时成像到缺陷分析的完整流程;预置适配多种检测对象、材料的工艺模板,减少参数配置时对人工经验的依赖,提升批量检测一致性。

  1. 样品上载与固定,选择探头型号并自动识别参数
  2. 执行自动寻中与光学辅助定位,快速建立扫描区域
  3. 按场景与对象调用检测工艺模板,实时成像并同步轨迹坐标
  4. 自动完成缺陷标注、面积统计与报告输出

获取检测方案与样品测试支持

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